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石英坩埚对于高纯石英砂的具体要求指标

石英坩埚对于高纯石英砂的具体要求指标

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石英坩埚使用的石英砂要求主要在于纯度、气液包裹体、粒度分布、一致性,杂质成分高会影响坩埚的耐温性,还会出现气泡、色斑、脱皮等现象,严重影响石英坩埚的质量。

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1、纯度

石英坩埚内层对高纯石英砂的纯度要求更高,要求达到5N以上(SiO2=99.998%),而石英坩埚外涂层、石英管、石英棒、石英舟和石英锭等产品达到4N5即可。

2、粒度分布

石英坩埚内层对高纯石英砂的粒度分布要求更均匀,一般要求粒径在0.1-0.3mm之间,且在该粒径范围的累积质量分数应大于或等于90%。而石英坩埚外层的粒度分布要求相对较低。

3、气液包裹体

石英坩埚内层对高纯石英砂的气液包裹体含量要求更严格,要求控制在较低水平。

4、杂质含量

石英坩埚使用的石英砂要求杂质含量低于0.02%,石英坩埚内层对高纯石英砂的杂质成分要求更低,要求钾、锂、钠等元素含量低,不超过2微克每克。石英坩埚外层的杂质要求钾、锂、钠等碱金属含量应小于2.5μg/g。

5、抗析晶性

石英坩埚使用的石英砂要求在高温下不易析出晶体,以保证坩埚的质量和稳定性。

6、透明度

石英坩埚使用的石英砂要求在高温下不易变黄,以保证坩埚内涂层的稳定性和质量。

综上所述,石英坩埚内、外层对高纯石英砂的具体不同要求指标主要是为了满足不同层面的使用需求,保证石英坩埚的质量和稳定性,以及在使用过程中能够耐温、抗析晶等。


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